关键词：显影液/四甲基氢氧化铵

行业：半导体/光刻胶

CT-1Plus电位滴定测定显影液中四甲基氢氧化铵的浓度

摘要

显影液是光刻过程中关键的化学材料，广泛应用于半导体制造和微电子器件。常见的显影液成分是四甲基氢氧化铵（TMAH）。显影液的主要作用是去除光刻胶中未固化的部分，从而在基材上形成所需的图案。本例通过电位滴定法测定一种显影液中四甲基氢氧化铵的浓度。

 

仪器配置

●CT-1Plus电位滴定仪

●pH-102电极

●20mL高精度计量管

●100mL滴定杯

 

试剂配置

●滴定剂：盐酸标准溶液

●滴定度：0.0801mol/L

●溶剂：纯水

 

测定方法

●酸碱滴定/电位滴定

●适量样品于干燥烧杯中，加入50mL纯水，搅拌溶解

●将烧杯置于滴定台上，选择四甲基氢氧化铵滴定方法，用盐酸标准溶液滴定到终点

 

仪器参数

● 最小滴定体积：20μL  

● 最大滴定体积：100μL

● 搅拌速度：200        

● 每滴间隔：1000ms

● 终点模式：微分阈值判定   

● 微分设置：200

 

测试数据

● 环境温度：23℃ ● 环境湿度：50%  

● 测试时间：3min 

序号	样品量/g	终点体积/mL	含量结果/%	平均值/%
1	2.8838	9.4256	2.3863	2.3863
2	3.0357	9.9276	2.3877
3	3.0449	9.9468	2.3851

测试结果：经测试，样品的四甲基氢氧化铵浓度约为2.3863%。