关键词：镀铜槽液

行业：半导体

 

MT-V6自动电位滴定仪电位滴定测定镀铜槽液硫酸

摘要

在镀铜工艺中硫酸能起到防止铜盐水解、提高镀液导电能力和阴极极化的作用，准确测定槽液中硫酸浓度对于电镀工艺控制十分重要，本试验通过 MT-V6自动电位滴定分析仪来测定镀铜槽液中的硫酸含量。

 

仪器配置

●MT-V6电位滴定仪

●pH-102复合电极

●20mL高精度计量管

●100mL滴定杯

 

试剂配置

●滴定剂：氢氧化钠标准溶液

●滴定度：0.1mol/L

●溶剂：纯水

 

测定方法

●酸碱滴定/电位滴定

●取适量样品于称量瓶中，在滴定杯中加入50mL纯水，将样品小心转移到滴定杯中，放置于滴定台上，编辑好进样序列，启动滴定程序，用NaOH标准溶液滴定至终点。

 

仪器参数

●最小滴定体积：10μL

●最大滴定体积：100μL

●搅拌速度：200

●每滴间隔：1200ms

●终点模式：微分判定

●微分设置：200

 

测试数据

●环境温度：26℃

●环境湿度：70%

●测试时间：3min

序号	样品量/mL	终点体积/mL	测试结果/g/L	平均值/g/L
1	0.256	3.5173	67.36	67.57
2	0.274	3.7496	67.09
3	0.266	3.7033	68.27

测试结果：经测试样品硫酸含量约为67.57g/L。